Nan pwosesis Depozisyon Plasma-an-Vapè Chimik (PECVD), chak koneksyon elektrik, soti nan transmisyon pouvwa RF rive nan kontwòl gaz pwosesis la, afekte dirèkteman inifòmite depozisyon fim mens lan ak rannman chip la. Lè w ap fè fas ak anviwònman difisil ekipman miniaturize yo, gwo vakyòm, ak gwo entèferans elektwomayetik,WAGOKonektè picoMAX® yo, ak twa avantaj prensipal yo ki se "konpakt, fyab, ak efikasite," vin tounen solisyon koneksyon ideyal pou sistèm PECVD yo.
Konsepsyon konpak inovatè
Adapte ak Layout Chanm Presizyon yo
Espas entèn ekipman PECVD a limite, sa ki mande yon aranjman dans liy pouvwa, siyal, ak deteksyon toutotou chanm reyaksyon an. picoMAX® itilize yon konsepsyon ak yon sèl resò, doub aksyon, ak plizyè espas ant broch 3.5/5.0/7.5mm disponib. Apre koneksyon an, li okipe 30% mwens espas pase pwodwi anvan yo, sa ki adapte parfe ak egzijans fil elektrik toutotou chanm lan. Konektè kalite twou li a prèske konplètman entegre nan tèt broch la, sa ki sipòte asanblaj kòt a kòt san pèt poto, sa ki amelyore anpil itilizasyon sikwi a epi ki pèmèt yon aranjman òdone liy siyal ak pouvwa san entèfere ak chan koule gaz pwosesis la.
Pwoteksyon solid kont kondisyon fonksyònman ekstrèm
Pwosesis PECVD yo enplike anviwònman ki gen gwo vakyòm, plasma wo frekans, ak vibrasyon, sa ki mete gwo demand sou fyab konektè yo. picoMAX® prezante yon estrikti ki estab ak yon rezistans vibrasyon ki rive jiska 12g, sa ki anpeche koneksyon an dekole akòz vibrasyon wo frekans. Li genyen tou yon konsepsyon anti-move antrav ak yon aparèy bloke, sa ki elimine erè enstalasyon yo epi anpeche dekoneksyon aksidantèl, sa ki asire operasyon kontinyèl ekipman an san pann.
Koneksyon rapid san zouti
picoMAX® prezante teknoloji koneksyon rapid san zouti, ki pèmèt koneksyon "branche epi kenbe" pou fil yon sèl fil ak plizyè fil ak konektè ki fèt pa presyon frèt. Koneksyon fil elektrik konplèks yo fèt nan yon sèl etap, sa ki amelyore efikasite asanblaj la anpil epi diminye sik debogaj yo. Konsepsyon modilè a konpatib ak pwosesis soudaj reflow, sa ki satisfè bezwen rediksyon pri pwodiksyon otomatik la. Li kouvri tou tout senaryo koneksyon PECVD: espas broch 3.5mm akomode fil siyal 0.2-1.5mm², alòske espas broch 5.0/7.5mm sipòte liy kouran 16A. Li sipòte metòd enstalasyon fil-a-kat ak nan miray, li konpatib ak fil elektrik kabinè kontwòl ak kavite, epi li konfòm ak estanda sekirite elektrik GB/T 5226.1 yo, sa ki konstwi yon defans solid pou estabilite pwosesis la.
Nan endistri semi-kondiktè a, kote presizyon pwosesis nan nivo nanomèt la esansyèl, koneksyon serye yo garanti yon gwo rannman.WAGOpicoMAX®, avèk konsèp konsepsyon pwodwi revolisyonè li a, reyalize "ti gwosè, pèfòmans segondè" nan yon anprint kontra enfòmèl ant, bay solisyon koneksyon ki estab, efikas, ak dirab pou ekipman PECVD. Sa ede manifaktirè semi-kondiktè simonte defi koneksyon pwosesis presizyon yo, pwoteje presizyon nivo mikwomèt chak chip.
Lè pòs la: 13 Mas 2026